當(dāng)今社會飛速發(fā)展，工業(yè)也在穩(wěn)步前進(jìn)中，對于許多行業(yè)，臥式退火爐是一個很優(yōu)秀的機(jī)器。你知道臥式退火爐有什么特點(diǎn)?有什么優(yōu)點(diǎn)?本文將為您詳細(xì)介紹臥式退火爐，快來一起看看吧。
 

 什么是臥式退火爐

  退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。



  臥式退火爐的特點(diǎn)

  臥式退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺車臥式退火爐用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。臥式退火爐傳動部分：臺車傳動采用電動機(jī)、減速機(jī)通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是采用蝸輪減速機(jī)和電動機(jī)組合電動升降。密封：臺車與爐體密封采用迷宮式結(jié)構(gòu)，并在臺車兩側(cè)有自動沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機(jī)構(gòu)密封該爐爐體部分采用優(yōu)質(zhì)耐火磚結(jié)構(gòu)，保證爐膛密封性。在臺車耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。臥式退火爐燃燒系統(tǒng)：在油爐兩側(cè)各安裝數(shù)只燒咀，熱流在爐內(nèi)往復(fù)循環(huán)，確保爐溫均勻性。根據(jù)需要可選定自動型和半自動型。排煙預(yù)熱裝置：在爐后上端安裝了排煙預(yù)熱裝置，爐內(nèi)的煙氣通過預(yù)熱器時，由風(fēng)機(jī)送入冷風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱，再由管路送至燒咀進(jìn)行助燃，并在出口安裝一只手動碟閥，該閥可調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過程中。
 

  臥式退火爐的優(yōu)點(diǎn)

  退火爐熱流在爐內(nèi)往復(fù)循環(huán)，爐溫均勻性好，無噪聲，無環(huán)境污染，蓄熱性小，熱量流失少，控溫精度高，爐溫均勻性強(qiáng)，自動化程度高，操作簡單，可采用PID編程設(shè)定，全自動履行，密封性好，壽命長，安全可靠。 |