什么叫退火爐　　

 

退火爐是在半導體元器件生產(chǎn)制造中應用的一種加工工藝，其包含加溫好幾個半導體材料芯片以危害其電氣性能。熱處理工藝是對于不一樣的實際效果而設計方案的。廣東海拓覺得，能夠加溫芯片以激話摻雜劑，將薄膜轉化成薄膜或將薄膜轉化成芯片襯底頁面，使高密度堆積的薄膜，更改生長發(fā)育的薄膜的情況，修補引入的損害，挪動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜遷移到另一個薄膜或從薄膜進到圓晶襯底。退火爐能夠集成化到別的火爐解決流程中，比如空氣氧化，或是能夠自身解決。退火爐是由專業(yè)為加溫半導體材料芯片而設計方案的機器設備進行的。退火爐是環(huán)保型周期時間式作業(yè)爐，超環(huán)保節(jié)能構造，選用纖維組織，省電60%